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CCQ氣動超高真空插板閥 產(chǎn)品說明
本發(fā)明涉及玻璃真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥。超高真空插板閥是通過手柄以螺桿傳動推動鋼球架運動，撐開閥板關(guān)閉，又靠彈簧力收攏閥板，打開后再退出的真空閥門。閥門適用于超高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流之用。

　　適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。

CCQ氣動超高真空插板閥背景技術(shù)：

用于玻璃鍍膜工藝的真空設(shè)備中，真空插板閥是任意兩個相鄰真空室之間必不可少的組成部件，其作用是當需要對單個真空室進行維護或者在單個真空室內(nèi)更換材料時， 將相鄰兩個真空室隔絕，使真空室內(nèi)的真空氣氛不被破壞。 此閥門為氣動驅(qū)動方式，在結(jié)構(gòu)設(shè)計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。閥門以壓縮空氣推動氣缸，通過傳動桿推（拉）動連桿機構(gòu)，帶著驅(qū)動體沿軸向運動，驅(qū)動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關(guān)閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

 二、CCQ氣動超高真空插板閥特點

軸封有波紋管密封和氟橡膠密封兩種可選擇，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設(shè)計；

閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；

 閥體采用加強筋結(jié)構(gòu)，體積小、重量輕，外形美觀；

采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機構(gòu)，運動平穩(wěn)；閥板整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻。

目前常用的真空插板閥為翻板式結(jié)構(gòu)，即在真空室內(nèi)的工件通孔處設(shè)置真空插板閥，該真空插板閥主要為一個擋板，擋板頂部與真空室內(nèi)的頂面鉸接，當真空插板閥關(guān)閉時，擋板下翻，其側(cè)面擋住工件通孔而實現(xiàn)密封，當真空插板閥打開時，擋板貼緊于真空室內(nèi)的頂面。然而，該結(jié)構(gòu)的真空插板閥由于擋板采用翻轉(zhuǎn)式，所占的空間較大，真空插板閥關(guān)閉時由于擋板靠自重擋住工件通孔，擋板底部沒有相應(yīng)的固定機構(gòu)，其密封效果不好；另外，該結(jié)構(gòu)的真空插板閥必須設(shè)于真空室內(nèi)部，其加工難度大，擋板易變形，日常的維護也相當困難。該結(jié)構(gòu)的真空閥克服了傳統(tǒng)真空插板閥氣密性差的缺陷，但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，各組成部件之間精度要求較高，因此其成本也較高。

主要技術(shù)性能

CCQ氣動超高真空插板閥主要零件材料
 閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。

CCQ氣動超高真空插板閥外形及連接尺寸

真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，包括驅(qū)動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通， 閥芯設(shè)于閥體內(nèi)部，驅(qū)動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接，下清潔蓋板設(shè)于閥體底部。

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